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 Towards Microstructures with Ultrahigh Aspect Ratio and Verticality in Deep Silicon Etching 深硅刻蚀中超高纵横比和垂直度微结构的研究
相关领域
沟槽
硅
蚀刻（微加工）
材料科学
纵横比（航空）
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电气工程
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电压
图层（电子）
电极
替代医学
化学
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病理
医学
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