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 Mechanism of the interaction between Al2O3 and SiO2 during the chemical-mechanical polishing of sapphire with silicon dioxide 二氧化硅化学机械抛光蓝宝石过程中Al2O3与SiO2相互作用的机理
相关领域
蓝宝石
材料科学
硅
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抛光
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化学机械平面化
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化学工程
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期刊：Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques 作者：Е. А. Вовк; А. Т. Будников; M.V. Dobrotvorskaya; С. И. Кривоногов; A. Ya. Dan’ko 出版日期：2012-02-01 |
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