A fast hybrid simulation approach of ion energy and angular distributions in biased inductively coupled Ar plasmas

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标题	A fast hybrid simulation approach of ion energy and angular distributions in biased inductively coupled Ar plasmas 偏置电感耦合氩等离子体中离子能量和角分布的快速混合模拟方法相关领域离子原子物理学偏压等离子体感应耦合等离子体蒙特卡罗方法振幅氩工作（物理）能量（信号处理）蚀刻（微加工）相（物质）电压材料科学化学计算物理学物理光学有机化学复合材料统计热力学量子力学数学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1088/2058-6272/acb52c
DOI	10.1088/2058-6272/acb52c doi
其它	期刊：Plasma Science & Technology 作者：Mingliang Zhao; Yuru Zhang; Fei Gao; You‐Nian Wang 出版日期：2023-04-05
求助人	byyyy 在 2024-05-04 10:08:24 发布自陕西，悬赏 10 积分
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