High-performance ITZO thin films: a systematic study of the influence of the sputtering process on the target and the TFT devices

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标题	High-performance ITZO thin films: a systematic study of the influence of the sputtering process on the target and the TFT devices
备注	需要带页码正式版本 💡 该求助存在备注，如果存在信息冲突，请以备注为准
网址	http://dx.doi.org/10.1039/d6tc00375c
DOI	10.1039/d6tc00375c doi
其它	期刊：Journal of Materials Chemistry C 作者：Zhihao Liang; Weijing Wu; Wei Cai; Yonglin Yang; Nan Ji; et al 出版日期：2026-01-01
求助人	zhengke924 在 2026-10-09 13:47:49 发布自广东，悬赏 10 积分
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