Swing arm profilometer: high accuracy testing for large reaction-bonded silicon carbide optics with a capacitive probe

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标题	Swing arm profilometer: high accuracy testing for large reaction-bonded silicon carbide optics with a capacitive probe
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/journals/optical-engineer...
DOI	10.1117/1.oe.56.8.084101 doi
其它	期刊：Optical Engineering 作者：Ling Xiong; Xiao Luo; Hai-xiang Hu; Zhi-yu Zhang; Feng Zhang; et al 出版日期：2017-08-04
求助人	虚心的静枫在 2026-10-30 10:46:22 发布自吉林，悬赏 20 积分
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