Unveiling the atomic-scale growth mechanisms in magnetron sputtered Al0.9Sc0.1N ferroelectric thin films

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标题	Unveiling the atomic-scale growth mechanisms in magnetron sputtered Al0.9Sc0.1N ferroelectric thin films
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S100503022...
DOI	10.1016/j.jmst.2026.10.041 doi
其它	期刊：Journal of Materials Science & Technology 作者：Jianwei Zhang; Luyi Wang; Ke Qu; Zhaomeng Gao; Qingfeng Zhu; et al 出版日期：2026-10-29
求助人	Sean 在 2026-11-05 15:43:53 发布自河北，悬赏 10 积分
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