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Surface Profilometry Based on Fringing Capacitance Measurement
基于条纹电容测量的表面轮廓测量
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网址
https://doi.org/10.1115/1.3140720
DOI
10.1115/1.3140720 doi
其它 期刊：Journal of Dynamic Systems Measurement and Control
作者：Joseph L. Garbini; L. Albrecht; J.-E. Jørgensen; Georg Mauer
出版日期：1985-09-01
求助人
hiadg 在 2025-12-04 14:45:28 发布自江苏，悬赏 30 积分
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