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标题
Surface Micromachined CMOS-MEMS Pirani Vacuum Gauge With Stacked Temperature Sensor
相关领域
微电子机械系统 材料科学 CMOS芯片 表面微加工 量具（枪械） 体微机械加工 光电子学 曲面（拓扑） 电气工程 机械工程 工程类 制作 冶金 几何学 病理 医学 替代医学 数学
网址
https://doi.org/10.1109/jmems.2024.3367380
AI链接 ieee.orgdoi.org
DOI
10.1109/jmems.2024.3367380 doi
其它 期刊：Journal of Microelectromechanical Systems
作者：Xiangyu Song; Lifeng Huang; Yuanjing Lin; Linze Hong; Wei Xu
出版日期：2024-02-28
求助人
可爱的函函 在 2026-01-12 16:54:53 发布自江西，悬赏 10 积分
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