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 Comparative analysis of hexamethyldisiloxane and hexamethyldisilazane plasma polymer thin films before and after plasma oxidation 相关领域
六甲基二硅氧烷
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期刊：Plasma Processes and Polymers 作者：Xiaofan Xie; Teresa de los Arcos; Guido Grundmeier 出版日期：2022-05-20 |
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