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 Analysis of growth rate and crystal quality of AlN epilayers by flow-modulated metal organic chemical vapor deposition 流动调制金属有机化学气相沉积AlN外延层的生长速率和晶体质量分析
相关领域
材料科学
化学气相沉积
金属有机气相外延
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蓝宝石
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期刊：Superlattices and Microstructures 作者：Fangzheng Li; Lianshan Wang; Weizhen Yao; Yulin Meng; Shaoyan Yang; et al 出版日期：2020-01-01 |
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