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标题
Formulation and Evaluation of Diluted Sulfuric-Peroxide-HF (DSP+) Mixtures for Cleaning High-Aspect Ratio Contacts in 3D NAND
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材料科学 润湿 接触角 光刻胶 硫酸 粒子（生态学） 过氧化物 混合（物理） 数据清理 粒径 分析化学（期刊） 化学工程 纳米技术 色谱法 冶金 复合材料 化学 有机化学 废物管理 海洋学 物理 图层（电子） 量子力学 地质学 工程类
网址
https://www.scientific.net/SSP.314.161.pdf
DOI
10.4028/www.scientific.net/ssp.314.161 doi
其它 期刊：Solid State Phenomena
作者：Kook Hyun An; Dong Gyu Kim; Hyun Tae Kim; Nagendra Prasad Yerriboina; Tae Gon Kim; Jin Goo Park
出版日期：2021-02-09
求助人
GZHD 在 2026-03-09 09:33:39 发布自上海，悬赏 30 积分
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