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 Polysilicon contact structures for silicon solar cells using atomic layer deposited oxides and nitrides as ultra‐thin dielectric interlayers 原子层沉积氧化物和氮化物作为超薄介电层的硅太阳电池多晶硅接触结构
相关领域
钝化
材料科学
氮化硅
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期刊：Progress in Photovoltaics Research and Applications 作者：Christian Reichel; Frank Feldmann; Armin Richter; Jan Benick; Martin Hermle; et al 出版日期：2021-11-08 |
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