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 Design, fabrication and characterization of SiOx/SiON/SiO2/Si structures for passive optical waveguides realization 用于无源光波导的SiOx/SiON/SiO2/Si结构的设计、制备和表征
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期刊：Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE) Conference Series 作者：Jozef Chovan; Daniel Figura; Juraj Chlpík; Dušan Lorenc; V. Řeháček; et al 出版日期：2017-12-01 |
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