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  Spin-on Deposition of Amorphous Zeolitic imidazolate Framework (aZIF) Films for Lithography Applications 用于光刻应用的无定形沸石咪唑骨架(aZIF)膜的旋涂沉积
相关领域
沸石咪唑盐骨架
无定形固体
材料科学
沉积（地质）
平版印刷术
自旋（空气动力学）
纳米技术
咪唑酯
光电子学
化学工程
结晶学
化学
工程类
金属有机骨架
有机化学
机械工程
吸附
地质学
古生物学
沉积物
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| DOI |
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10.21203/rs.3.rs-6092786/v1
Doi
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期刊：Nature Chemical Engineering 作者：Michael Tsapatsis; Yurun Miao; Shusen Zheng; Kayley E. Waltz; Mueed Ahmad; et al 出版日期：2025-09-11 |
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