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 Synergy effects of Al-V-co-doping and oxygen reactive sputtering on electrical and optical properties of ZnO films Al-V共掺杂和氧反应溅射对ZnO薄膜电学和光学性能的协同影响
相关领域
溅射
锌
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Takeru Okada; Chisato Tateyama; Kotaro Hoshino; Tomoyuki Kawashima; Katsuyoshi Washio 出版日期：2021-02-04 |
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