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标题
Microstructural dependence of residual stress in reactively sputtered epitaxial GaN films
反应溅射外延GaN薄膜残余应力的微观结构依赖性
相关领域
材料科学 纤锌矿晶体结构 蓝宝石 分析化学（期刊） 外延 微晶 溅射 极限抗拉强度 复合材料 位错 薄膜 结晶学 光学 冶金 纳米技术 化学 色谱法 物理 激光器 锌 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6463/abce7e
DOI
10.1088/1361-6463/abce7e doi
其它 期刊：Journal of Physics D Applied Physics
作者：Mohammad Monish; S.S. Major
出版日期：2020-11-27
求助人
yifan_Niu 在 2025-08-26 10:37:42 发布，悬赏 10 积分
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