Microstructural dependence of residual stress in reactively sputtered epitaxial GaN films

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标题	Microstructural dependence of residual stress in reactively sputtered epitaxial GaN films 反应溅射外延GaN薄膜残余应力的微观结构依赖性相关领域材料科学纤锌矿晶体结构蓝宝石分析化学（期刊）外延微晶溅射极限抗拉强度复合材料位错薄膜结晶学光学冶金纳米技术化学激光器物理色谱法图层（电子）锌
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6463/abce7e
DOI	10.1088/1361-6463/abce7e doi
其它	期刊：Journal of Physics D Applied Physics 作者：Mohammad Monish; S.S. Major 出版日期：2020-11-27
求助人	yifan_Niu 在 2025-08-26 10:37:42 发布自河南，悬赏 10 积分
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