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 Kinetic Study of the Thermal Crystallization Behavior of Hydrogenated Amorphous Silicon Prepared by ECRCVD ECRCVD法制备氢化非晶硅热结晶行为的动力学研究
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：I‐Chen Chen; Pei-Yi Lin; Tomi T. Li; Jenq-Yang Chang 出版日期：2014-01-01 |
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