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标题
High-Throughput Characterization of Nanoscale Topography for Hybrid Bonding by Optical Interferometry
光学干涉法高通量表征杂化键合纳米形貌
相关领域
干涉测量 吞吐量 表征（材料科学） 纳米尺度 材料科学 光电子学 计算机科学 纳米技术 光学 电信 物理 无线
网址
https://doi.org/10.1109/ectc51529.2024.00157
DOI
10.1109/ectc51529.2024.00157 doi
其它 期刊：
作者：Bongsub Lee; Oliver Zhao; Arianna Avellán; Suhail Sadiq; G. G. Fountain; et al
出版日期：2024-05-28
求助人
Fei_U 在 2025-12-15 22:33:22 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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