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 Beyond performance of learning control subject to uncertainties and noise: A frequency-domain approach applied to wafer stages 超越受不确定性和噪声影响的学习控制性能：应用于晶圆台的频域方法
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期刊：IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica 作者：Fazhi Song; Ning Cui; Shuaiqi Chen; Kai Zhang; Zhenyu Liu; et al 出版日期：2024-01-01 |
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