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Beyond Performance of Learning Control Subject to Uncertainties and Noise: A Frequency-Domain Approach Applied to Wafer Stages

频域 主题(文档) 薄脆饼 噪音(视频) 控制(管理) 计算机科学 电子工程 领域(数学分析) 声学 工程类 物理 人工智能 电气工程 数学 图书馆学 图像(数学) 数学分析 计算机视觉
作者
Fazhi Song,Ning Cui,Shuaiqi Chen,Kai Zhang,Zhenyu Liu,Xinkai Chen,Jiubin Tan
出处
期刊:IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:12 (1): 198-214 被引量:5
标识
DOI:10.1109/jas.2024.124968
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