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Beyond Performance of Learning Control Subject to Uncertainties and Noise: A Frequency-Domain Approach Applied to Wafer Stages
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作者
Fazhi Song,
Ning Cui,
Shuaiqi Chen,
Kai Zhang,
Zhenyu Liu,
Xinkai Chen,
Jiubin Tan
出处
期刊:
IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica
[Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期:2024-11-12
卷期号:12 (1): 198-214
被引量:5
标识
DOI:10.1109/jas.2024.124968
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