发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
求助中
  • 文献求助详情
标题
Permeation of oxygen and water into a plasma-enhanced chemical vapor deposited silicon nitride film as function of deposition pressure
相关领域
化学气相沉积 薄膜 材料科学 氮化硅 化学工程 渗透 X射线光电子能谱 硅 原子层沉积 等离子体增强化学气相沉积 离子镀 分析化学（期刊） 正电子湮没谱学 氧气 氧化硅 化学 纳米技术 光电子学 膜 色谱法 有机化学 电子 生物化学 量子力学 正电子湮没 工程类 正电子 物理
网址
https://doi.org/10.1116/6.0003050
DOI
10.1116/6.0003050 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Masayuki Shiochi; Hiroshi Fujimoto; Hin Wai Mo; Keiko Inoue; Yusaku Tanahashi; et al
出版日期：2023-10-31
求助人
dr.du 在 2026-01-09 10:31:29 发布自甘肃，悬赏 10 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Computational study on silicon oxide plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) process using...
  2. Comparative study between silicon-rich oxide films obtained by LPCVD and PECVD
  3. Comparative study of Si precipitation in silicon-rich oxide films
  4. The effects of carbon incorporation on the refractive index of PECVD silicon oxide layers
  5. Oxidation study of plasma-enhanced chemical vapor deposited and rf sputtered hydrogenated amorphous ...
  6. Structural properties of silicon oxide prepared by high-power PECVD
  7. Compositional study of Silicon Rich Oxide films.
  8. Accurate determination of composition and bonding probabilities in plasma enhanced chemical vapour d...
  9. Deposition of dielectrics by remote plasma enhanced CVD
  10. Optical properties of Er-doped silicon rich silicon oxide(SRSO) films deposited by electron cyclotro...
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 15小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    10:31:33 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    10:31:31 科研通AI机器人（英国 伦敦）收到请求，开始寻找文献
    10:31:29 已向机器人发送请求

  • 15小时前

    dr.du dr.du Lv5 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
周三完成签到 ，获得积分10
5秒前
su完成签到 ，获得积分10
9秒前
白羽丫完成签到，获得积分10
13秒前
充电宝的应助被苏幕遮采纳，获得10
14秒前
16秒前
20秒前
土豆你个西红柿完成签到 ，获得积分10
34秒前
zzzllove完成签到 ，获得积分10
36秒前
nhzz2023完成签到 ，获得积分0
40秒前
41秒前
可爱的函函的应助被喜宝采纳，获得10
41秒前
追寻的纸鹤完成签到 ，获得积分10
41秒前
Cmqq发布了新的文献求助10
45秒前
小二郎的应助被Cmqq采纳，获得10
59秒前
123321完成签到 ，获得积分10
1分钟前
BowieHuang的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
BowieHuang的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
淡淡依白完成签到 ，获得积分10
1分钟前
ktw完成签到，获得积分10
1分钟前
1分钟前
小福星饼干完成签到 ，获得积分10
1分钟前
wangyue完成签到 ，获得积分10
1分钟前
喜宝发布了新的文献求助10
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
夜雨完成签到，获得积分10
1分钟前
小马甲的应助被小新采纳，获得10
1分钟前
喜宝完成签到，获得积分20
1分钟前
小小科研牛马完成签到 ，获得积分10
1分钟前
深情安青的应助被爱笑的大开采纳，获得10
1分钟前
FashionBoy的应助被喜宝采纳，获得10
1分钟前
1分钟前
兮兮完成签到 ，获得积分10
1分钟前
小橙子完成签到 ，获得积分10
1分钟前
水牛完成签到，获得积分10
1分钟前
1分钟前
Cmqq发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
只想发财完成签到 ，获得积分10
2分钟前
思源的应助被Cmqq采纳，获得10
2分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Encyclopedia of Agriculture and Food Systems Third Edition 2000
Clinical Microbiology Procedures Handbook, Multi-Volume, 5th Edition 临床微生物学程序手册，多卷，第5版 2000
人脑智能与人工智能 1000
King Tyrant 720
Silicon in Organic, Organometallic, and Polymer Chemistry 500
Principles of Plasma Discharges and Materials Processing, 3rd Edition 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 生物 医学 工程类 计算机科学 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 复合材料 内科学 化学工程 人工智能 催化作用 遗传学 数学 基因 量子力学 物理化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5599726
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4685467
关于积分的说明 14838489
捐赠科研通 4670150
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2538175
邀请新用户注册赠送积分活动 1505527
关于科研通互助平台的介绍 1470898
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通