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  Preparation, Characterization, and Application of AlN/ScAlN Composite Thin Films AlN/ScAlN复合薄膜的制备、表征及应用
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期刊：Micromachines 作者：Laixia Nian; Yuanhang Qu; Xiyu Gu; T. Luo; Ying Xie; et al 出版日期：2023-02-27 |
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