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Silicon dioxide sacrificial layer etching in surface micromachining
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网址
https://doi.org/10.1088/0960-1317/7/1/001
DOI
10.1088/0960-1317/7/1/001 doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Johannes Bühler; F-P Steiner; H. Baltes
出版日期：1997-03-01
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fpwx 在 2026-01-25 15:29:49 发布自山东，悬赏 10 积分
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