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Back-End-of-Line Compatible 2T1C Memory Cell With InGaZnO Thin-Film Transistors and Hf₀.₅Zr₀.₅O₂-Based Ferroelectric Capacitors 具有InGaZnO薄膜晶体管和Hf₀.₅Zr₀.₅O₂基铁电电容器的后端兼容2T1C存储单元
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期刊:IEEE Transactions on Electron Devices 作者:Yize Sun; Shucheng Zhang; Qi Liu; Yu Li; Haoyu Lu; et al 出版日期:2025-01-22 |
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