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 Focused ion beam milling based formation of nanochannels in silicon-glass microfluidic chips for the study of ion transport 基于聚焦离子束铣削的硅-玻璃微流控芯片纳米通道形成研究离子输运
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期刊：Microfluidics and Nanofluidics 作者：D. V. Lebedev; Grigory Malyshev; Ilya I. Ryzhkov; А М Можаров; K Yu Shugurov; et al 出版日期：2021-05-31 |
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