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标题
Design of Piezoelectric MEMS Bulk Acoustic Wave Mode-Matched Gyroscopes Based on Support Transducer
基于支撑换能器的压电MEMS体声波模式匹配陀螺设计
相关领域
陀螺仪 传感器 压电 材料科学 谐振器 声学 振动结构陀螺仪 比例因子（宇宙学） 微电子机械系统 PMUT公司 Q系数 光电子学 物理 宇宙学 量子力学 空间的度量展开 暗能量
网址
https://doi.org/10.1109/mems51782.2021.9375222
DOI
10.1109/mems51782.2021.9375222 doi
其它 期刊：
作者：Ngoc Minh Nguyen; Chin‐Yu Chang; Gayathri Pillai; Sheng‐Shian Li
出版日期：2021-01-25
求助人
My 在 2025-05-17 12:52:00 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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