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 Influence of O(3P)/O2 Flux on the Atomic Layer Deposition of B2O3 Using Trimethyl Borate at Room Temperature O（3P）/O2通量对硼酸三甲酯室温原子层沉积B2O3的影响
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期刊：The Journal of Physical Chemistry C 作者：Aparna Pilli; Veronica Lee; Jessica Jones; Natasha Chugh; Jincheng Du; et al 出版日期：2020-11-13 |
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