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Growth Mechanism and Film Properties of Atomic-Layer-Deposited Titanium Oxysulfide 原子层沉积硫化钛的生长机理及薄膜性能
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期刊:Chemistry of Materials 作者:Jeroen G. A. van Kasteren; Saravana Balaji Basuvalingam; Miika Mattinen; Andrea Bracesco; W. M. M. Kessels; et al 出版日期:2022-08-22 |
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