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标题
Growth Mechanism and Film Properties of Atomic-Layer-Deposited Titanium Oxysulfide
原子层沉积硫化钛的生长机理及薄膜性能
相关领域
原子层沉积 椭圆偏振法 沉积(地质) 薄膜 材料科学 化学工程 图层(电子) 分析化学(期刊) 化学 纳米技术 光电子学 冶金 环境化学 工程类 古生物学 生物 沉积物
网址
DOI
10.1021/acs.chemmater.2c01033 doi
其它 期刊:Chemistry of Materials
作者:Jeroen G. A. van Kasteren; Saravana Balaji Basuvalingam; Miika Mattinen; Andrea Bracesco; W. M. M. Kessels; et al
出版日期:2022-08-22
求助人
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