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标题
Fabrication of top-down gold nanostructures using a damascene process
用镶嵌工艺制备自上而下的金纳米结构
相关领域
铜互连 材料科学 化学机械平面化 扫描电子显微镜 纳米技术 纳米结构 抛光 制作 微观结构 轮廓仪 硅 光电子学 复合材料 表面光洁度 图层（电子） 医学 替代医学 病理
网址
https://doi.org/10.1016/j.mee.2017.02.005
AI链接 archives-ouvertes.fr hal.sciencedoi.org
DOI
10.1016/j.mee.2017.02.005 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Mouawad Merhej; Dominique Drouin; B. Salem; T. Baron; Serge Ecoffey
出版日期：2017-02-05
求助人
Jason-1024 在 2025-07-07 17:16:45 发布自北京，悬赏 10 积分
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