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Evaluation of advanced chemical mechanical planarization techniques for copper damascene interconnect

作者

K.W. Chen,Y. L. Wang,Chun‐Hua Liu,Kevin Yang,L. Chang,Kuang-Yao Lo,C. W. Liu

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2004-01-01 卷期号：447-448: 531-536 被引量：5

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2003.07.015

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