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Study on electrochemical mechanical polishing process of copper circuit on PCB
作者
Nadiia Kulyk,
Chang Yong An,
Jung Hoon Oh,
Sung‐Min Cho,
Changsup Ryu,
Young Kwan Ko,
Chan‐Hwa Chung
出处
期刊：
Korean Journal of Chemical Engineering
[Springer Science+Business Media]
日期：2010-01-01
卷期号：27 (1): 310-314
被引量：3
标识
DOI：10.1007/s11814-009-0289-1
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