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Understanding 3D anisotropic reactive ion etching of oxide-metal stacks |
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B 作者:Prafful Golani; Roshan J. Tirukkonda; Aaron N. Fancher; Stephen R. Ross; Mark D. Kraman; et al 出版日期:2023-11-15 |
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(2025-6-4)