Deep learning based wide-field optical inspection for 3D NAND channel hole open defects

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标题	[高分] Deep learning based wide-field optical inspection for 3D NAND channel hole open defects
网址	http://dx.doi.org/10.1109/ASMC64512.2025.11010730
DOI	10.1109/ASMC64512.2025.11010730 doi
求助人	amor 在 2026-06-11 15:38:29 发布自湖北，悬赏 50 积分
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