Surface micromachining of chip-edge silicon microcantilevers using xenon difluoride etching of silicon-on-insulator

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标题	Surface micromachining of chip-edge silicon microcantilevers using xenon difluoride etching of silicon-on-insulator
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6439/ac0807
DOI	10.1088/1361-6439/ac0807 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Thomas Lerond; Dmitri Yarekha; Vanessa Avramovic; Thierry Mélin; S. Arscott 出版日期：2021-06-03
求助人	wy 在 2026-09-08 15:09:20 发布自天津，悬赏 10 积分
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