Balancing sensitivity and resolution by feedback regulation of free radicals from Sn-C bonds in tin-oxygen clusters EBL photoresist

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标题	Balancing sensitivity and resolution by feedback regulation of free radicals from Sn-C bonds in tin-oxygen clusters EBL photoresist
网址	https://doi.org/10.1007/s40843-024-3062-y
DOI	10.1007/s40843-024-3062-y doi
其它	期刊：Science China. Materials 作者：Hao Chen; Xinyan Huang; Yingdong Zhao; Jun Zhao; Pengzhong Chen; et al 出版日期：2024-08-22
求助人	樊珩在 2026-08-10 01:07:41 发布自上海，悬赏 10 积分
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