Cloud-based curvilinear OPC for free-form reticle designs in silicon photonics and metasurfaces

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标题	Cloud-based curvilinear OPC for free-form reticle designs in silicon photonics and metasurfaces
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3092168
DOI	10.1117/12.3092168 doi
其它	期刊：Novel Patterning Technologies 2026 作者：Po-Hsun Fang; Po-Kai Chang; Hsueh-Li Liu; Kuan-Hsun Wang; Yu-Hsuan Lo; et al 出版日期：2026-04-09
求助人	aa3294 在 2026-08-09 20:56:30 发布自河北，悬赏 20 积分
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