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III–V semiconductor devices grown by metalorganic chemical vapor deposition—The development of the Swiss Army Knife for semiconductor epitaxial growth 金属有机化学气相沉积生长III-V半导体器件——半导体外延生长瑞士军刀的研制
相关领域
金属有机气相外延
外延
化学气相沉积
光电子学
异质结
材料科学
半导体
二极管
纳米技术
图层(电子)
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期刊:Journal of vacuum science and technology 作者:R. D. Dupuis 出版日期:2023-10-31 |
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