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  Thermal release tape-assisted semiconductor membrane transfer process for hybrid photonic devices embedding quantum emitters 嵌入量子发射器的混合光子器件的热释放带辅助半导体膜转移工艺
相关领域
光电子学
材料科学
光子学
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光学
物理
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期刊：Materials for Quantum Technology 作者：Cori Haws; Biswarup Guha; Edgar F. Perez; Marcelo Davanço; Jin Dong Song; et al 出版日期：2022-03-23 |
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