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标题
EUV resists based on tin-oxo clusters
基于tin-oxo簇的EUV抗蚀剂
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1117/12.2046536
DOI
10.1117/12.2046536 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Brian Cardineau; Ryan Del Re; Hashim Al-Mashat; Miles Wilklow‐Marnell; Michaela Vockenhuber; et al
出版日期：2014-04-04
求助人
菜包子 在 2025-09-03 21:25:45 发布自新加坡，悬赏 20 积分
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