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 Long indirectly heated cathode ion source with multi-slit electrodes for material modification process 用于材料改性工艺的具有多狭缝电极的长间接加热阴极离子源
相关领域
狭缝
电极
阴极
材料科学
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期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms 作者：Hiroaki Kai; Yoshiro Igarashi; Daiki Takashima; Tohru Matsumoto; Nariaki Hamamoto; et al 出版日期：2025-04-14 |
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sandy_bear
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