Removal of Post Etch Residue on BEOL Low-K with Nanolift

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标题	Removal of Post Etch Residue on BEOL Low-K with Nanolift 用Nanolift去除BEOL Low-K上的蚀刻后残留物相关领域材料科学制作聚合物铜互连粒子（生态学）干法蚀刻化学工程复合材料蚀刻（微加工）纳米技术光电子学电介质病理工程类地质学替代医学海洋学医学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/ssp.314.277
DOI	10.4028/www.scientific.net/ssp.314.277 doi
其它	期刊：Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena/Solid state phenomena 作者：Yuya Akanishi; Quoc Toan Le; Efrain Altamirano Sánchez 出版日期：2021-02-01
求助人	认真子默在 2025-08-27 14:06:36 发布自山东，悬赏 30 积分
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