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 A niobium pentoxide waveguide sensor for on-chip mid-infrared absorption spectroscopic methane measurement 用于片上中红外吸收光谱甲烷测量的五氧化二铌波导传感器
相关领域
材料科学
波导管
五氧化二铌
光电子学
折射率
五氧化二钽
溅射沉积
红外线的
光学
铌
电介质
溅射
薄膜
纳米技术
物理
冶金
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| 其它 |
期刊：Sensors and Actuators B-chemical 作者：R. Bi; Mingquan Pi; Chuantao Zheng; Huan Zhao; Lei Liang; et al 出版日期：2023-02-26 |
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