A niobium pentoxide waveguide sensor for on-chip mid-infrared absorption spectroscopic methane measurement

材料科学 波导管 五氧化二铌 光电子学 折射率 五氧化二钽 溅射沉积 红外线的 光学 铌 电介质 溅射 薄膜 纳米技术 物理 冶金
作者
R. Bi,Mingquan Pi,Chuantao Zheng,Huan Zhao,Lei Liang,Fang Song,Dingdi Wang,Yù Zhang,Yiding Wang,Frank K. Tittel
出处
期刊:Sensors and Actuators B-chemical [Elsevier BV]
卷期号:382: 133567-133567 被引量:19
标识
DOI:10.1016/j.snb.2023.133567
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