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 Analysis of thermal diffusion effects observed in a capacitively coupled plasma deposition reactor with non-isothermal walls 具有非等温壁的电容耦合等离子体沉积反应器中观察到的热扩散效应分析
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等离子体增强化学气相沉积
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期刊：Vacuum 作者：Ho Jun Kim 出版日期：2021-02-09 |
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