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 Enhancement of Laser-Induced Damage Threshold of Hfo2 Thin Films Via Substrate Heating During Magnetron Sputtering 磁控溅射中衬底加热提高Hfo2薄膜的激光损伤阈值
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期刊： 作者：Siqing Zhang; Chunyang Wang; Yiyuan Li; Weigang Zhang; Jie Zhu; et al 出版日期：2024-01-01 |
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(2025-6-4)
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