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标题
Enhancement of Laser-Induced Damage Threshold of Hfo2 Thin Films Via Substrate Heating During Magnetron Sputtering
磁控溅射中衬底加热提高Hfo2薄膜的激光损伤阈值
相关领域
材料科学 基质（水族馆） 溅射沉积 光电子学 溅射 薄膜 腔磁控管 高功率脉冲磁控溅射 激光器 纳米技术 光学 物理 海洋学 地质学
网址
https://doi.org/10.2139/ssrn.5070056
DOI
10.2139/ssrn.5070056 doi
其它 期刊：
作者：Siqing Zhang; Chunyang Wang; Yiyuan Li; Weigang Zhang; Jie Zhu; et al
出版日期：2024-01-01
求助人
dddd 在 2025-07-27 16:19:52 发布自山东，悬赏 10 积分
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