Enhancement of Laser-Induced Damage Threshold of Hfo2 Thin Films Via Substrate Heating During Magnetron Sputtering

材料科学 基质(水族馆) 溅射沉积 光电子学 溅射 薄膜 腔磁控管 高功率脉冲磁控溅射 激光器 纳米技术 光学 物理 海洋学 地质学
作者
Siqing Zhang,Chunyang Wang,Yiyuan Li,Weigang Zhang,Jie Zhu,X.Y. Huang
出处
期刊:Social Science Research Network [Social Science Electronic Publishing]
标识
DOI:10.2139/ssrn.5070056

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