发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Embedded barrier layer (EBL) development for high scan speed ArF immersion application
用于高扫描速度ArF浸没应用的嵌入式阻挡层(EBL)的开发
相关领域
沉浸式（数学） 材料科学 图层（电子） 光电子学 计算机科学 光学 复合材料 物理 数学 纯数学
网址
https://doi.org/10.1117/12.3051408
DOI
10.1117/12.3051408 doi
其它 期刊：
作者：Jingyi Li; Mingqi Li; Le Zhou; Yongfeng Lu; Tyler Paul; et al
出版日期：2025-02-21
求助人
wx 在 2025-07-25 15:38:21 发布自江苏，悬赏 20 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Laser additive manufacturing of CrFeNb particles reinforced Ni-based superalloy composites with grai...
  2. Effects of SiC contents on the microstructure and mechanical properties of Al4SiC4–SiC ceramic comp...
  3. Effect of NiAl and NiCr Coatings on High Cycle Fatigue and Corrosion Behavior of Direct Metal Laser ...
  4. Investigate on thermal tensile of Mg-3Gd-0.5Zn alloys containing LPSO phase
  5. Preparation and properties of Ta foil toughened high entropy (Ti0.2Zr0.2Hf0.2Nb0.2Ta0.2)B2-SiC layer...
  6. Elevated temperature compressive properties of reaction milled NiAl–AlN and Zr-doped NiAl–AlN comp...
  7. The Morphostructural, Compositional, and Electrochemical Characterization of Electrodeposited Nanola...
  8. Nanocrystalline NiAl-TiC Composites Sintered by the Pulse Plasma Method
  9. Porous SiC Ceramics with Multiple Pore Structure Fabricated via Gelcasting and Solid State Sintering
  10. DETERMINING QUALITY REQUIREMENTS AT THE UNIVERSITIES TO IMPROVE THE QUALITY OF EDUCATION
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 17小时前

    SYLH SYLH Lv12 上传了文件

    待审核 134282H.pdf (782.8 KB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 1天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    15:38:25 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    15:38:23 科研通AI机器人（英国 伦敦）收到请求，开始寻找文献
    15:38:21 已向机器人发送请求

  • 1天前

    wx wx Lv1 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
子云完成签到，获得积分10
1秒前
littleyi发布了新的文献求助10
2秒前
123发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
热心市民小红花的应助被草木采纳，获得10
4秒前
JamesPei的应助被Jankin采纳，获得10
4秒前
imi完成签到，获得积分10
5秒前
liu发布了新的文献求助30
7秒前
小锦章发布了新的文献求助10
8秒前
王大纯完成签到，获得积分10
8秒前
imi发布了新的文献求助10
8秒前
9秒前
zzYu完成签到，获得积分10
10秒前
完美世界的应助被QWE采纳，获得10
10秒前
鳗鱼曼岚发布了新的文献求助10
12秒前
小象完成签到，获得积分10
12秒前
Steven发布了新的文献求助10
12秒前
SciGPT的应助被白云垛采纳，获得10
13秒前
14秒前
14秒前
坦率的文龙完成签到，获得积分10
14秒前
全文发布了新的文献求助10
15秒前
小锦章完成签到，获得积分20
15秒前
lihaodajia完成签到，获得积分10
15秒前
rtaxa完成签到，获得积分0
17秒前
littleyi完成签到，获得积分10
17秒前
MeSs发布了新的文献求助10
18秒前
yang发布了新的文献求助10
18秒前
木木木木发布了新的文献求助10
19秒前
19秒前
20秒前
21秒前
包容若风完成签到，获得积分10
23秒前
MIKI发布了新的文献求助10
24秒前
25秒前
zonghonghan完成签到 ，获得积分10
25秒前
狗熊岭的熊三三完成签到，获得积分10
25秒前
Jindyla完成签到，获得积分10
25秒前
wdr发布了新的文献求助10
26秒前
高分求助中
【重要！！请各位用户详细阅读此贴】科研通的精品贴汇总(请勿应助) 10000
Semantics for Latin: An Introduction 1018
International Code of Nomenclature for algae, fungi, and plants (Madrid Code) (Regnum Vegetabile) 1000
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 530
Eco-Friendly Skin Solutions for Natural Cosmeceuticals 500
Apiaceae Himalayenses. 2 500
北师大毕业论文 基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 490
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4083319
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3622592
关于积分的说明 11492114
捐赠科研通 3337354
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1834610
邀请新用户注册赠送积分活动 903529
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 821628
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通