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标题
Piezoelectrically and Capacitively Transduced Hybrid MEMS Resonator with Superior RF Performance and Enhanced Parasitic Mitigation by Low-Temperature Batch Fabrication
相关领域
材料科学 制作 微电子机械系统 光电子学 谐振器 医学 病理 替代医学
网址
https://doi.org/10.3390/app14188166
AI链接 doi.org doaj.orgdoi.org
DOI
10.3390/app14188166 doi
其它 期刊：Applied Sciences
作者：Adnan Zaman; Ugur Guneroglu; Abdulrahman Alsolami; Jing Wang
出版日期：2024-09-11
求助人
Doctor 在 2026-01-06 18:06:04 发布自海南，悬赏 10 积分
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  • 1天前

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