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  MEMS-on-fiber sensor combining silicon diaphragm and supporting beams for on-line partial discharges monitoring 用于局部放电在线监测的硅膜片和支撑梁相结合的MEMS光纤传感器
相关领域
材料科学
电磁干扰
振膜（声学）
绝缘体上的硅
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期刊：Optics Express 作者：Haoyong Li; Xiejun Wang; Delin Li; Jiaming Lv; Yiting Yu 出版日期：2020-09-12 |
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