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Growth of Al-Cu Thin Films on LiNbO3 Substrates for Surface Acoustic Wave Devices Based on Combinatorial Radio Frequency Magnetron Sputtering 基于组合射频磁控溅射在声表面波器件LiNbO3衬底上生长Al-Cu薄膜
相关领域
溅射沉积
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腔磁控管
溅射
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期刊:Crystals 作者:Junseong Eom; Tae-Wong Kim; Peddathimula Puneetha; Jae-Cheol Park; Siva Pratap Reddy Mallem 出版日期:2024-09-27 |
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